06 March 2017

3月1日

做样品

  • 5min(氧气氩气)ICP之后表面并没有变好
  • 想用脏东西定位到表面,然后再扫

3月2日

做样品

表面不好,看看能不能使用以下方法:

  1. 测量多个scanz,取平均值。一般来说平均值曲线比较稳定;
  2. 在表面附近取脏东西,对着它scanz,取极值作为表面;
  3. 看看合适的位置是否有NV;

通过测量的深度来计算实际深度

  • 推了一个公式,不知道对不对 ,其中分别为真实与测量的深度,为物镜的数值孔径,分别为油和金刚石的折射率。

3月3日

做样品

做了长时间的ICP,磨了大约8um,测量之后感觉基本上能用。

3月6日

做样品

  • Piranha洗样品
  • 镀铝20nm

3月7日

做样品

  • FIB打chipname和marker
  • 去掉Al和银胶

3月8日-12日

做样品

  • NV Location

3月13日-15日

做状元样品

  • NV Location

3月14日

模拟

  • NV角度的模拟

3月23日

做111样品

  • 111样品#2退火

3月24日

做111样品

  • Piranha清洗
  • 111样品#3 ICP ICP之后出现大量的坑,无法使用

3月27日

做111样品

  • Piranha清洗
  • 样品#3被翻面,使用另一面,另一面清洗过后仍有少量小点,被刻毁的一面的坑没有变化,应该为永久性的坑,不是脏东西。

3月28日

做111样品

  • 样品#3进行ICP,只做了10min(4um对应20min),就出现了很多凹凸不平的东西

  • 三块样品镀膜

  • 三款样品用银胶放到stage上面,110度烤30min

  • 做完了第一块样品的FIB chipname与marker chipname叫做Sample-111-1

3月29日

做111样品

  • 做剩下的marker chipname

3月30日

做111样品

  • 开始做第一块样品的NV Location


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