【工作笔记】2017春季学期 三月份
06 March 2017
3月1日
做样品
- 5min(氧气氩气)ICP之后表面并没有变好
- 想用脏东西定位到表面,然后再扫
3月2日
做样品
表面不好,看看能不能使用以下方法:
- 测量多个scanz,取平均值。一般来说平均值曲线比较稳定;
- 在表面附近取脏东西,对着它scanz,取极值作为表面;
- 看看合适的位置是否有NV;
通过测量的深度来计算实际深度
- 推了一个公式,不知道对不对 ,其中分别为真实与测量的深度,为物镜的数值孔径,分别为油和金刚石的折射率。
3月3日
做样品
做了长时间的ICP,磨了大约8um,测量之后感觉基本上能用。
3月6日
做样品
- Piranha洗样品
- 镀铝20nm
3月7日
做样品
- FIB打chipname和marker
- 去掉Al和银胶
3月8日-12日
做样品
- NV Location
3月13日-15日
做状元样品
- NV Location
3月14日
模拟
- NV角度的模拟
3月23日
做111样品
- 111样品#2退火
3月24日
做111样品
- Piranha清洗
- 111样品#3 ICP ICP之后出现大量的坑,无法使用
3月27日
做111样品
- Piranha清洗
- 样品#3被翻面,使用另一面,另一面清洗过后仍有少量小点,被刻毁的一面的坑没有变化,应该为永久性的坑,不是脏东西。
3月28日
做111样品
-
样品#3进行ICP,只做了10min(4um对应20min),就出现了很多凹凸不平的东西
-
三块样品镀膜
-
三款样品用银胶放到stage上面,110度烤30min
-
做完了第一块样品的FIB chipname与marker chipname叫做
Sample-111-1
3月29日
做111样品
- 做剩下的marker chipname
3月30日
做111样品
- 开始做第一块样品的NV Location
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